真空镀膜系统生产厂家-【艾明坷】

对于真空镀膜机必须要掌握的名词

低温冷凝泵：它是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵，是目前获得-真空1高，抽速1大的抽气泵。

冷凝泵的工作原理：主要是低温表面对气体的冷凝作用、冷捕作用及物理低温吸附作用。

低温冷凝：根据各种气体的特性，采用液-或者制冷循环-气来冷却。

冷捕集：就是不可凝气体被可凝气体捕集的现象，通常-、水蒸气、氮气、压气等气体首先形成霜，于低温表面形成吸附层，进而达到吸附其它气体的目的，低温泵抽除混合气体的效果比抽除单一效果好就是这个原因。

低温吸附：指低温表面上的吸附剂吸附气体的作用，由于吸附剂与气体分子之间的相互作用很强，故可达到气相压强比冷凝表面温度下它的饱和蒸汽压还低的水平。吸附剂通常是活性炭。

冷凝泵的抽气速率及影响冷凝泵的抽气速率与冷凝表面的面积大小有关系，经数据显示，单位冷凝表面积下的抽气速率为11.6升/秒.平方厘米，冷凝泵可以抽到10-8帕；此外粘有活性炭的吸附表面的几何形状及位置、活性炭的颗粒结构、粘结材料及粘接工艺，对抽速也有很大的影响。其次关键在于制冷机的制冷量要足够大。使用磁控溅射的真空镀膜机一般采用的是圆筒主体结构，结构上要-快速抽空，因气袋会缓慢的放气，因此要避免出现隔离孔穴，真空系统上端会加装磁控溅射枪，为了使真空室和元件有足够的强度，-在外部和内部的作用力下不产生形状的变化，厚度需要足够。

真空计：真空计是真空镀膜机器上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。

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真空镀膜技术的应用领域

1.在装饰品方面

随着经济的发展和生活水平的提高，人们喜欢将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室内外装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五彩缤纷。

2.在刀具、模具等金属切削加工工具方面

在生活中，我们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等，这些就是经过镀膜技术加工后的涂层工具。

1金黄色的，是在刀具上涂镀了tin、zrn涂层，tin是代应用广泛的硬质层材料。

2黑色的，是在切削工具上涂了tic、crn涂层。

3钴铜色的，是在刀具上镀涂了tialn涂层。

3.在建筑玻璃和汽车玻璃上

建筑玻璃有透光和隔热两个基本功能。

普通玻璃能透过绝大部分太阳光辐射能量，这对采光和吸收太阳光线的能量十分有利。而对于空间红外辐射，普通玻璃虽能阻止室内的热量直接透过室外，但热量被玻璃吸收后的二次散热也会造成很大的损失。

随着经济的发展，普通玻璃已越来越不能满足人们的要求，而阳光控制膜和低辐射膜正好能弥补了普通玻璃在这一方面的不足。阳光控制膜可以满足低纬度地区降低室内温度的要求；而低辐射膜则能满足高纬度地区充分接受太阳辐射能量和1大限度阻止室内热量外流的要求。真空镀膜机真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。

在玻璃上，镀涂一层tio2就能使其变成防雾、防露和自清洁玻璃，这种工艺在汽车玻璃上有-的应用。

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常见的真空镀膜材料

氧化物一氧化硅sio,二氧化硅sio2,二氧化钛tio2,二氧化锆zro2,二氧化铪hfo2,一氧化钛tio,五氧化三钛ti3o5，五氧化二铌nb2o5，五氧化二钽ta2o5,氧化钇y2o3，氧化锌zno等高纯氧化物镀膜材料。

其它化合物-锌zns，-znse，氮化钛tin，碳化硅sic，钛酸-latio3，钛酸钡batio3，钛酸-srtio3，钛酸镨prtio3，硫1化镉cds等真空镀膜材料。

金属镀膜材料高纯铝al，高纯铜cu，高纯钛ti，高纯硅si，高纯金au，高纯银ag，高纯铟in，高纯镁mg，高纯锌zn，高纯铂pt，高纯锗ge，高纯镍ni,高纯金au，金锗合金auge，金镍合金auni，镍铬合金nicr，钛铝合金tial，锌铝合金znal，铝硅合金alsi等金属镀膜材料。设备的维护要有日常维护和定期维护1,日常维护就是在当天生产中发现设备有-迹象，就马上解决。　

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