手套箱,手套箱,手套箱
真空室
涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式,不锈钢材料制造、弧焊接、表面进行化学抛光处理,真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。
真空获得部分
在真空技术中,真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的,必须将几种泵联合使用,如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。
真空测量部分
真空系统的真空测量部分,就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样,没有一种真空计能测量整个真空范围,人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。如热偶计,电离计,皮拉尼计等。
电源供给部分
靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(rf),常见的电源厂商有ae,adl,霍廷格等。
抽真空系统,目前基本是两种,一种是扩散泵系统,一种是分子泵系统,分子泵系统属于清洁抽气系统,没有扩散泵的返油现象,真空镀膜系统公司,抽速也相对比较稳定,而且比较省电,电费的支出是镀膜企业生产运营成本中很大的一环。对于泵系统的定期维护是很重要的,---是润滑油的定期更换,注意油品牌号的选择,选择错误很容易损坏真空泵。
真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成
真空镀膜系统优点:蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中---环境中不稳定因素影响,保障了、大面积有机光电器件和电路的制备。
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