高纯供气系统生产厂家咨询 艾明坷科技公司

实验室集中供气的优点

1、保持气体纯度

2、不间断气体供应：系统可以以手动方式和自动方式在气瓶之间进行切换，-气体连续供应

3、低压警示：当气压低于警报-，报警装置可自动启动报警

4、气体压力稳定：系统采用两级减压方式供气，可得到非常稳定的压力

5、率：通过供气控制系统，可充分使用气瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本

6、操作简便：所有气瓶存放在同一位置，减少搬运安装的操作，节约时间和成本费用

7、无气瓶在实验室：可提高安全性、提高-、节省实验室操作空间

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大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对-量产的8-12英寸1英寸=25.4毫米 -规模集成电路厂气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等，100mw以上的太阳能电池生产线气体种类包括nh3，发光二极管的磊晶工序线气体种类包括nh3、5代以上液晶显示器工厂气体种类包括4、3、nf3、光纤气体种类包括sicl4、硅材料外延生产线气体种类包括hcl等行业。它们的投资规模-，采用1-的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。实验室供气系统气体管路实验室供气管路系统工程主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体，-其储存和使用的安全性。

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小流量气体净化系统

高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气，应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气，也可用于纯度气体管道安装施工中的吹扫气体，更可以为半导体工艺设备提供纯的工艺气体。反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施如喷射示漏气体到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间。

气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂，电化学抛光316l不锈钢管件，出气口配置微米过滤器，其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的-水平。

气体配比仪采用流量计，电化学抛光316l不锈钢管件，双卡套或者vcr气体接头。